Profilfilter delar in en profil i de­lar med långa och korta våg­längder.
Ett profil-S-filter tar bort kort­vågiga, ett profil-L-filter tar bort lång­vågiga delar.

Nesting-index Nic (tidigare cut-off/gränsvåglängd λc) definierar över­gången mellan ytjämnhet och vågig­het.

Centrumlinjen uppstår vid ett fas­korrekt filter, där ett viktat medel­värde har bildats för varje punkt i pro­filen.

Viktningsfunktionen anger för varje profilpunkt med vilken be­döm­ningsfaktor som de när­liggande profil­punkterna bidrar till medel­värdet (Gausskurva).

R-profilen (ytjämnhetsprofil) är primärprofilens avvikelse från cen­trum­linjen för profil-S-filtret. När ytjämnhetsprofilen visas är centrum­linjen nollinje.